SYMM-CH2-4

基于MEMS微热盘技术的微型金属氧化物半导体气体传感器， 用于检测空气中的C₂H₄。 传感器的生产结合了MEMS硅衬底技术、薄膜技术、厚壁技术、陶瓷封装技术， 专利配方的纳米骨架气体敏感层沉积于微热盘和叉指电极的顶部， 从而产生了依赖于有害气体浓度的电导率。