SY-CO-37BPM

基于MEMS微热盘技术的微型金属氧化物半导体气体传感器， 用于检测空气中的有毒气体CO。 传感器的生产结合了MEMS硅衬底技术、薄膜技术、厚膜技术、陶瓷封装技术， 专利配方的纳米骨架气体敏感层沉积于微热盘和叉指电极的顶部， 从而产生了依赖于有害气体浓度的电导率。